MW MASS-STREAM D-6361A/002BI Регулятор массового расхода газа цифровой

Регуляторы массового расхода (MFCs) модели D-6361A/002BI одеты для точного измерения рядов подачи между 1...50 ln/min и 10...500 ln/min на рабочих давлениях между вакуумом и адвокатским сословием 20. MFC состоит из проверенного встроенного термального датчика массового расхода (CTA), точного регулирующего клапана и микропроцессорной платы с преобразованием сигнала и полевой шины. В зависимости от заданного значения регулятор потока быстро регулирует желаемый расход. Прибор соответствует стандарту IP65 и может быть дополнительно оснащен современным, многофункциональным и многоцветным дисплеем с кнопками оператора на приборе.

Характеристики MASS-STREAM D-6361A/002BI

Технические характеристики

Диапазон расхода (доступны промежуточные диапазоны):

• мин. 1...50 лн/мин
• макс. 10...500 лн/мин
• (на основе N2)

Точность (вкл. линейность) (на основе фактической калибровки): ± 1,0 % RD плюс ± 0,5% FS (в условиях калибровки)
Повторяемость: < 0,2 % FS
Коэффициент поворота: 1:50
Тип газов: почти все газы, совместимые с выбранными материалами
Время отклика (датчик): прибл. 0,9 сек.
Время отстаивания (в контроле, типичное): плюс прибл. 2 сек.
Стабильность управления: < 0,2 % FS типичный
Рабочая температура: 10 ... 50 °C
Температурная чувствительность: ± 0,2% Rd/°C (воздух)
Чувствительность к давлению: ± 0,3% Rd/bar типичный (воздух)
Максимальное значение Kv: 0,035 … 0,35
Герметичность подвесного двигателя: испытано < 2 x 10-8 мбар l/s He
Чувствительность отношения: при отклонении 90° от горизонтали макс. погрешность 0,2 % при 1 бар типичный N2
Время прогрева: 30 мин. для оптимальной точности, в течение 30 секунд для точности ±4% FS